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Halbleiterboom erfreut Branchenausrüster

International ist Halbleiterausrüstung "Made in Japan" unverzichtbar. Jedoch soll die Nachfrage laut japanischem Branchenverband 2022 etwas abflachen.

Von Jürgen Maurer | Tokyo

Japans Branchenunternehmen profitieren von der weltweit boomenden Halbleiternachfrage. Die Semiconductor Equipment Association of Japan (SEAJ) rechnet auch im Fiskaljahr 2022 (1. April bis 31. März) mit einem ordentlichen Zuwachs bei den Bestellungen. Allerdings wird das Wachstum mit 5,8 Prozent nicht so stark ausfallen wie im Fiskaljahr 2021, so die Prognose des Branchenverbandes vom Januar 2021.

Nachfrage nach japanischer Halbleiter- und Displayausrüstung (in Milliarden US-Dollar; Veränderung in Prozent) 1) 2)

Segment

20213

Veränd. 2021/204

20223

Veränd. 2022/214

Halbleiterausrüstung

30,5

40,8

32,3

5,8

Displayausrüstung

4,3

1,3

4,4

2,1

Insgesamt

34,8

34,4

36,6

5,3

1) Prognose; 2) jeweils Fiskaljahr (1. April bis 31. März); 3) 1 US$ = 110 Yen; 4) auf Yen-Basis Quelle: Semiconductor Equipment Association of Japan

Dabei fällt die Vorhersage eher konservativ aus, denn die Aussichten für den Halbleitergesamtmarkt bleiben grundsätzlich gut. Die weltweiten Verkäufe von Produktionsausrüstung sollen laut dem internationalen Branchenverband SEMI im Jahr 2022 mit 114 Milliarden US-Dollar (US$) eine neue Rekordmarke erreichen. Die 2021 aufgetretenen Lieferschwierigkeiten für Halbleiter haben einen Wettbewerb um neue Produktionsstätten entfacht.

Kapazitätsausbau geht weiter

Die international größten Auftragsfertiger, wie TSMC, Samsung und Intel, haben umfangreiche Investitionen in neue Kapazitäten angekündigt. Allein die taiwanische TSMC plant, im Jahr 2022 zwischen 40 Milliarden und 44 Milliarden US$ in Anlagen zu investieren. Eine der größten neuen Fabriken zur Halbleiterfertigung, Foundries, wird in den USA entstehen. Zudem hat der Chiphersteller bestätigt, in Japan eine Fabrikation zusammen mit dem größten japanischen Kunden Sony aufzubauen. Dafür sind Investitionen von circa 7 Milliarden US$ geplant. Jedoch wird die Produktion nicht vor 2024 starten.

Nicht zuletzt deswegen können die japanischen Lieferanten von Herstellungsausrüstung für den Halbleiter- und Displaybereich mit vielen Aufträgen rechnen. Japans Branchenunternehmen gehören mit den US-amerikanischen Anbietern zu den wichtigsten Akteuren in diesem Bereich. Unternehmen wie Advantest, Tokyo Electron und Hitachi High-Tech gehören ebenso dazu wie kleinere Nischenfirmen wie Hoya, Disco Corporation oder Screen Holdings.

Der Spezialist für Oberflächenbehandlungs- und Reinigungssysteme Screen Holdings hat Ende 2021 angekündigt, in Hikone in der Präfektur Shiga eine neue Produktion aufzubauen. Geplant sind Investitionskosten von umgerechnet 87 Millionen US$. Die neue Kapazität soll Anfang 2023 in Betrieb genommen werden. Mit ihr wird die jährliche Produktion des Unternehmens von 3,2 Milliarden US$ auf einen Wert von dann 3,6 Milliarden US$ zulegen. Screen Holding hält bei Reinigungssystemen weltweit sehr hohe Marktanteile.

Japanische Ausrüster halten hohe Marktanteile

Japans größter Ausrüstungshersteller Tokyo Electron kommt im Segment Beschichtungssysteme auf einen sehr hohen Marktanteil von über 90 Prozent. Bei spezialisierten elektronischen Mikroskopen (CD-SEM - Critical Dimension-Scanning Electron Microscope) erreicht der Anbieter Hitachi Hightech einen Anteil von 80 Prozent. Das meldet das Magazin "EETimes Japan“ am 14. Dezember 2021.

Im weltweiten Markt für Maskeninspektionssysteme dominiert in dem relativ jungen Bereich der EUV (Extreme Ultraviolet)-Technologie beispielsweise das japanische Unternehmen Lasertec. Das hebt ein Bericht in der "Weekly Toyo Keizai“ von Anfang Januar 2022 hervor. Darüber hinaus kommt das Unternehmen bei herkömmlichen Inspektionssystemen für die Wafer- und Maskenherstellung ebenfalls auf hohe Anteile von weit über 30 Prozent.

Damit Japans Ausrüstungshersteller ihre Marktanteile halten können, müssen sie den Anforderungen ihrer Kunden gerecht werden. Dies betrifft nicht nur die technologische Voraussetzung, qualitativ hochwertige Teile zu liefern, sondern auch Faktoren wie eine kohlenstoffarme Produktion. Die Kunden wollen die CO2-Emissionen entlang ihrer gesamten Lieferketten senken. Das bedeutet für die Hersteller von Halbleiterausrüstung, dass sie ihren Footprint ebenfalls verringern müssen.

Kunden wollen dekarbonisieren

Tokyo Electron beispielsweise hat in ihrem ESG (Environmenal, Social and Governance)-Bericht angekündigt, bis zum Jahr 2030 die CO2-Emission pro Wafer um 30 Prozent gegenüber dem Niveau im Jahr 2018 zu senken. Die Gesamtemissionen aus Produktion und Gebäuden sollen um 70 Prozent schrumpfen. Hierzu sollen mehr erneuerbare Energien genutzt werden. Auch die anderen japanischen Ausrüster haben sich der Dekarbonisierung verpflichtet.

Dabei spielen sowohl die Kundenwünsche eine Rolle als auch das Ziel der japanischen Regierung, die Digitalisierung und Dekarbonisierung umfassend umzusetzen. Die Halbleiterindustrie darf da nicht zurückstehen und kann auf öffentliche Förderung setzen. Das Wirtschaftsministerium hat dazu im Juni 2021 eine “Strategy for Semiconductors and the Digital Industry” veröffentlicht. Zu den wichtigen Punkten zählt es, eine fortschrittliche Herstellungsausrüstung zu entwickeln und genügend Produktionskapazität bereitzustellen.

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